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| ベリファイ一体型 |
<VIT-PV682の特長>
(1)高速検査
・高速画像処理技術により、優れたコストパフォーマンスを発揮します。
・検査データのリード/ライトも高速なため、少量、多品種にも対応できます。
・L/Sに合わせて、25μm、 50μm、 100μmの3段階の切り替え式です。
・別置きでベリファイステーションの組合せ運用も可能です。
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(2)高検出力
| ・2種類の2値化レベルが設定できるため、擬似断線とマイクロショートの両方を検出することが可能です。 |
(3)表裏交互検査
| ・あらかじめ表面と裏面の検査データを読み出しておくことで、表裏交互での検査が可能です。 |
(4)小型・軽量
・従来機種より約10%小型化を行い、重量も約10%低減しました。
・基板吸着用ポンプも小型・軽量化、低消費電力化しました。
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(5)人に優しい操作性
・稼動音は静かとなり、作業面は座り作業にも適した高さで人に優しい装置になりました。
・モニタの位置が低くなり見やすくなりました。
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(6)旧機種と互換性がある検査データ
| ・検査データは旧機種(P680、P681、PV680、PV681)と互換性があるため、増設後すぐにフル稼働が可能です。 |
(7)使いやすいベリファイ部
・基板のハンドリングが減るため効率よく作業できます。
・欠陥箇所は画面中央に表示します。
・良品画面と比較できるため判りやすく、誰でもすぐに使用できます。
・モニタの位置は従来より低い位置に配置し、角度調整も自由であるため見やすくなりました。
・操作パネルのスイッチ類も充実しており操作がしやすくなっております。
・検査結果データは旧機種(P680、P681、PV680、PV681)と互換性があるため、増設後すぐにフル稼働が可能です。
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| Automatic Optical Inspection System-Model(One Body Style) |
<Feature of VIT-PV682>
(1)High-speed inspection
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An excellent cost performance is demonstrated by the high-speed image processing technology.
It is possible to correspond also to a small amount of many varieties because not only the inspection but also lead/light of the inspection data is high-speed.
It is a switch type of three stages of 25μm, 50μm, and 100μm according to L/S. It combines and it is possible to operate it with Verify-station-Model.
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(2)High detection power
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Because two kinds of binary making levels can be set, both a pseudodisconnection and a short micro can be detected.
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(3)Inside and outside alternation inspection
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The inspection in an alternate inside and outside is possible beforehand by reading the inspection data of the surface and the back.
Especially, when operating it in the verify station all-in-one design, the effect is demonstrated.
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(4)Small size and lightness
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It miniaturizes from the conventional model kind by about 10%, and weight has decreased by about 10%, too.
The pump for the substrate adsorption was miniaturized and lightened. Moreover, power consumption was lowered.
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(5)Gentle operativeness to person
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The operation sound became quiet, and the work side became a gentle device to the person by suitable height for the sitting work.
It became height in which the position of the monitor was seen easily.
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(6)Inspection data compatible with old model
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After it increases it, the inspection data can be operated full at once because the data of old model (VIT-P680,VIT-P681,VIT-PV680,VIT-PV681) can be misappropriated.
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(7)became easy to operate.
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It is possible to work efficiently because handling the substrate decreased.
The defect part is displayed at the center of the screen.
Everyone can use it at once plainly because of being comparable with the quality item screen.
It became easy to see in addition because the position of the monitor arranged to a near position so far, and was also free the angle adjustment.
It is easy to enhance switches of the operation panel, too and to operate it.
After it increases it, the inspection result data can be operated full at once because the data of old model (VIT-P680,VIT-P681,VIT-PV680,VIT-PV681) can be misappropriated.
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